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| 1. | hot carrier transistor |
| 热载流子晶体管 |
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| 2. | hot carrier diode |
| 热载劣二极管 |
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| 3. | The emphasis is about the Metal line reliability, Contact reliability, Gate oxide integrity, and Hot |
| 测试内容上着重介绍了金属化完整性测试、氧化层完整性测试、连接完整性测试和热载流子注入测试，根据测试数据，对1.0μm工艺线单一失效机理的可靠性进行了评价，对不同测试结构的作用进行了说明。 |
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