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81. full wafer exposure
整片曝光
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82. electrostatic wafer chuck
静电薄片夹头
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83. front wafer surface
晶片正面
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84. full wafer mask
整片掩模
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85. fruit juice wafer
果汁华夫饼干
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86. full wafer chip
整片管芯
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87. full wafer aligner
整片对准器
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88. full wafer lithography
整片光刻
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89. full wafer alignment
整片对准
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90. full wafer memory
整片存储器
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